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(三)平衡分析

1.水平衡

水平衡圖見圖5。每天實際耗水量為206 884m3/d，其中新鮮水(自來水)量 為4 500 m3/d,廢水回用量為3 424 m3/d,循環水量為198 960 m3/d。

純水回用率為：(2 200+170+170) /4150=61.2%

項目水復用率為：(2 200+170+170+150+150+250+50+284+198 960)/(3 424+198 960+4500)=97.8%

2. 物料平衡

本項目在生產過程中使用50多種化學原料，根據中芯國際集成電路制造(上海) 有限公司的經驗，對擬建項目所涉及的主要物料流失在廢水、廢氣及固體廢物和回收廢液中情況進行分析。

3. 氟平衡

擬建項目氟的投加以無機氟和有機氟原料進入生產線，根據使用含氟原料中氟 的含量計算氟的投加量，其中無機氟87 956.62 kg/a、有機氟17 315.9 kg/a。項目氟的產出主要以廢氣、廢水、廢渣中氟化物方式流失到環境中，該項目釆取了含氟廢 氣洗滌，廢水除氟治理措施，因此大部分的氟以固體廢物排出，主要是以氟化鈣方 式排放。生產中有機氟化物用電漿法將其電離成氟離子，電離率一般5%?20%,其 余未電離部分和未用盡的離子氟均進入區域除害裝置，主要釆用是碳纖維吸附，處理效率95%，然后進入酸氣洗滌塔，洗滌后排入大氣。氟平衡圖見圖6，氟平衡計 算結果如下：

進入廢氣量：855 kg/a;

進入廢水量：5 112.9 kg/a;

進入廢渣量：生產工藝中含氟廢水、酸堿廢水、含氨廢水處理前總含氟量 84 535.2 kg/a;處理后進入固體廢物的含氟量：79 423.2 kg/a;

理論值：81 988.7 kg/a;

平衡誤差：3.1%。

需要指出的是有機氟化物經電離后(約5%，即865.8 kg/a)用于工藝清洗，但最終是先進入碳纖維吸附裝置處理后排入酸氣洗滌塔，然后放入大氣，這部分含氟廢氣主要是有機大分子氟化物，比較穩定。帶入廢水中經過含氟廢水處理裝置后， 排到固體廢物中約有95%即16 450 kg/a,進入區域除害裝置，由碳纖維劑吸附，這

部分固體廢物本廠不作處理，由碳纖維吸附劑專門廠商進行回收處理。

2. 其他物料平衡

六氟化鎢有85%流失到大氣、水環境和污泥中;存在鋼瓶(桶)退回原廠的占10%。異丙醇工藝中使用后，100%流失到大氣、水環境和廢液中。

氨在工藝中使用量為112 129.65 kg/a，0.04%流失到大氣中，5.2%流失到廢水中， 其余94.76%以(NH3)2S04形式流失到廢液中;存在鋼瓶(桶)退回原廠的占10%。三氧乙基硼有80%流失到大氣、水環境和污泥中;存在鋼瓶(桶)退回原廠的占3%。

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（責任編輯：中大編輯）

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