由表4可見，擬建工程投產后，最終排入環境的廢氣主要污染物氟化物為0.855 t/a; 本工程排入環境的廢水為131.98萬m3/a，CODcj_放量為188.16 t/a，NH3—N排放量 為5.77 t/a;本工程固體廢物最終排放總量為0。

本項目位于北京經濟技術開發區，目前開發區內無污染物排放控制的下達指標， 因此本項目也無明確的污染物排放的控制指標。2002年底開發區污水排放量為1.69 萬m3/d, CODa的質量濃度為300?400 mg/L,按預測本項目最終COD&的排放量 188.16 t/a,約占 2002 年全開發區(^^^的 8.84%; NH3—N 排放量為 5.77 t/a。

建議在滿足達標排放的前提下，以上污染物排放量作為本項目污染物總量控制指標建議值，報請環保主管部門審批，并提出實施總量控制指標的具體措施和計劃。

七、清潔生產及節水分析

目前我國集成電路生產己具備了一定的規模和基礎，初步形成了從產品設計、 前工序到后封裝的體系輪廓。目前國內主要有7個芯片制造骨干企業，國內芯片生產企業總的講規模都不算太大，且產品工藝與國際先進水平有一定的距離。本項目 擬建設8英寸(20.32 cm) 0.35?0.18 pm,預計量產時月投片30 000片;12英寸 (30.48 cm)先進制程線，0.13?0.09 _，月投產3 000片。因此，無論是產品工藝 還是生產規模都將成為國內最先進的芯片生產企業。

擬建項目生產技術路線和生產工藝是在國際上較為先進的，技術水平上符合集成電路加工制作清潔生產的要求。本項目努力提高資源和能源的綜合利用能力，水 資源綜合利用取得一定的效果，部分廢水回用，廢物減量化，“三廢”治理措施合理可行。因此，基本上符合清潔生產的要求，但水資源綜合利用仍有潛力可挖。

表5 “三廢”排放情況比較